(一)資格審：審查申請業者資格、計畫書格式、所附文件及經費編列等是否與規定相符。

(二)技術審：由審查委員資料庫中，依專業隨機妥適指派評審委員再由評審委員就業者所提書面資料，依申請個案計畫之產業類別或屬性，依據下列審查項目逐案進行審查。

(三)決審：召開決審會議，依年度經費額度及個案審查後之排序，核定補助優先順序及經費。